[논문 리뷰] RETICOLO software for grating analysis

J. P. Hugonin, Philippe Lalanne|Figshare|2021. 01. 04.

Optical Coatings and Gratings인용 수 122

한 줄 요약

RETICOLO은 1D 및 2D 격자에 대한 RCWA의 MATLAB 기반 무료 구현을 제공하며, Bloch-mode 계산 및 전자기장 시각화를 포함합니다; 이후 버전에서 비등방성 다층 스택 분석을 추가합니다.

ABSTRACT

RETICOLO is a freeware that implements the rigorous coupled wave analysis (RCWA) for 1D (classical and conical diffraction) and 2D crossed gratings. It operates under a MATLAB environment and incorporates an efficient and accurate toolbox for computing Bloch modes and visualizing the electromagnetic field in the grating region. As a spin-off, the Version V9 and the following ones include a toolbox for the analysis of stacks of arbitrarily anisotropic multilayered thin-films.

연구 동기 및 목표

• 격자에 대한 엄밀한 결합 파동 분석(RCWA)을 위한 손쉬운 소프트웨어 도구를 제공한다.
• 격자 영역에서 Bloch 모드 계산 및 전자기장 시각화를 가능하게 한다.
• 나중 버전에서 비등방성 다층 얇은 막 스택의 분석을 지원한다.

제안 방법

• MATLAB 내에서 1D(고전적 및 원추 회절) 및 2D 교차 격자에 대해 RCWA를 구현한다.
• Bloch 모드를 계산하는 효율적인 도구 상자를 포함한다.
• 격자 영역에서 전자기장의 시각화 도구를 제공한다.
• Version V9 및 이후에서 비등방성 다층 얇은 막 스택의 분석을 위한 파생 도구 상자를 노출한다.

실험 결과

연구 질문

• RQ1 RETICOLO가 1D 및 2D 격자에 대한 RCWA 분석에서 어떤 기능을 제공하는가?
• RQ2 RETICOLO 내에서 Bloch 모드는 어떻게 계산되고 시각화되는가?
• RQ3 나중 버전에서 소프트웨어가 비등방성 다층 얇은 막의 스택 분석으로 어떻게 확장되는가?
• RQ4 RETICOLO에서 지원되는 격자 유형의 범위는(고전적, 원추 회절, 교차) 무엇인가?

주요 결과

• RETICOLO은 1D 및 2D 기하학에 대한 RCWA 격자 분석을 위한 무료 MATLAB 기반 도구이다.
• 격자 영역의 Bloch 모드 계산 도구 상자와 시각화 기능을 제공한다.
• 1D 및 2D 교차 격자에서 고전적 회절과 원추 회절을 모두 지원한다.
• Version V9 및 이후에서 임의의 비등방성 다층 얇은 막 필름 스택 분석을 위한 도구 상자를 도입한다.
• 도구는 RCWA 프레임워크 내에서 접근성과 정확성을 목표로 한다.